三氯化鐵配置溶液時刻的時候影響蝕刻速率的因素 有Fe3+的濃度和蝕刻液的溫度，鹽酸的添加量，蝕刻液的攪拌。溶液中三氯化鐵在使用過程中會被不斷的被水解，加入鹽酸能適量的抑制其水解，溫度控制在60度以下，適量加熱，采用空氣攪拌，噴淋或潑濺操作都可以加快蝕刻反應。